場發(fā)射掃描電鏡的原理與技術創(chuàng)新
場發(fā)射掃描電鏡是一種利用場發(fā)射技術來產生高亮度、穩(wěn)定的電子束,用于觀察樣品表面形貌和成分的顯微分析儀器。它是掃描電鏡(SEM)的一種改進版本,具有高分辨率、高靈敏度以及高圖像質量的優(yōu)勢。一、基本原理場發(fā)射掃描電鏡與傳統(tǒng)的掃描電鏡(SEM)原理相似,都是通過電子束掃描樣品表面并獲得二次電子、反射電子和X射線等信號來形成圖像。它使用的是場發(fā)射電子槍而非熱發(fā)射電子槍,這是其主要的區(qū)別。1、場發(fā)射電子槍它采用的是場發(fā)射電子槍(FEG),其原理是利用強電場從非常細的金屬針尖上拉出電子。...